Pasauliniam puslaidininkių procesui artėjant prie pažangių 3 nm/2 nm mazgų, tikslios titano medžiagos (ASTM B265/B348, 1/2/5 laipsnio didelio -grynumo titanas ir titano lydiniai) atnaujinamos iš „pagalbinių medžiagų“ į pagrindines strategines medžiagas, tokias kaip puskonkon{8 grynumas, itin-mažas priemaišų kiekis, stiprus terminis stabilumas, atsparumas korozijai ir ne{10}}magnetinės savybės. Rinkos dėmesys ir paklausa sinchroniškai didėja.
Pagrindinė tvarkyklė: pažangūs procesai verčia atnaujinti medžiagą
Pažangūs puslaidininkių procesai (5 nm ir mažesni) reikalauja trijų pagrindinių medžiagų reikalavimų: nanometrų lygio tikslumo, atominio lygio švarumo ir ypatingo aplinkos stabilumo:
-Aukšto grynumo titano tikslinė medžiaga (1 laipsnis, grynumas didesnis nei arba lygus 99,999 %/5N): PVD purškimo šerdies medžiaga, naudojama vario sujungimo barjeriniam sluoksniui, kontaktiniam kištukui, kad vario atomų difuzija neužterštų silicio plokštelių, tiesiogiai nustatanti lusto išeigą ir našumą3, tinkama visam nm1 procesui.
-Tikslūs konstrukciniai komponentai (2/5 klasė): litografijos mašinos darbastalis, ėsdinimo mašinos kamera, vakuuminis flanšas, plokštelės robotas ir kt. su mažu šiluminio plėtimosi koeficientu (8,6 × 10 ⁻⁶/laipsnis) ir temperatūros svyravimų, užtikrinančių tik 1/3 aliuminio lygio deformaciją.
-Atsparūs korozijai komponentai (7 laipsnis): atsparūs stipriai rūgščių / halogenų korozijai šlapio ėsdinimo ir valymo įrangoje, neteršia metalo nuosėdų, tinka aukšto vakuumo ir stiprios plazmos ekstremalioms darbo sąlygoms.
Pagrindiniai amerikietiškų standartinių titano medžiagų pranašumai
1. Itin didelio grynumo + itin-mažų priemaišų: amerikietiško standarto 1 klasės didelio-grynumo titanas su kontroliuojamomis deguonies / azoto / anglies priemaišomis<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Šiluminis stabilumas+matmenų tikslumas: mažas šilumos laidumas (21,9W/(m · K)), mažas šiluminio plėtimosi koeficientas, tolerancija iki ± 0,005 mm, paviršiaus lygumas Ra Mažesnis arba lygus 0,4 μm, tinkamas nanoskalės surinkimui ir vakuuminiam sandarinimui.
3. Atsparumas korozijai+ne-magnetinis+mažas dujų išsiskyrimas: savaime-gyjantis natūralus oksido sluoksnis, atsparus Cl ₂/F ₂/stiprios rūgšties korozijai; Nemagnetinės ir netrukdančios tikslioms grandinėms; Oro išleidimo greitis yra ypač mažas, kai veikia itin -didelis vakuumas (UHV), todėl užtikrinama kameros švara.
4. Lengvas ir didelis stiprumas: tankis 4,51 g/cm³ (40 % lengvesnis nei nerūdijantis plienas), 5 laipsnio tempimo stipris Didesnis arba lygus 930 MPa, savitasis stipris du kartus didesnis nei nerūdijančio plieno, tinkamas dideliu greičiu judančių dalių lengvo svorio reikalavimams.
Pagrindiniai taikymo scenarijai
-Aukšto grynumo titano tikslinė medžiaga (1 laipsnis): PVD purškimas, naudojamas loginiam / saugojimo lusto barjeriniam sluoksniui ir lipniam sluoksniui, kurio pasaulinė rinka 2024 m. siekė 1,87 mlrd. JAV dolerių, o CAGR 2026–2030 m. – 9,3 %.
-Vakuuminė kamera / flanšas (2 klasė): ėsdinimo ir nusodinimo įrangos vakuuminė sistema, atspari aukštam slėgiui, mažai išsiskirianti dujos ir patikimas sandarinimas.
-Tikslus roboto rankos / galo efektorius (5 klasė): plokštelių perdavimas, lengvas ir didelis{2}}tvirtumas, tiksli padėties nustatymas ir be dalelių.
-Atsparus korozijai pamušalas / tvirtinimas (7 klasė): šlapio proceso įranga, atspari stiprioms rūgštims, pvz., HF / HCl, prailgina įrangos eksploatavimo laiką ir sumažina priežiūros išlaidas.
Rinkos tendencija: vietinis pakeitimas+technologinis proveržis
Pasaulio puslaidininkių pajėgumų plėtra (ypač žemyninėje Kinijoje) paskatino spartų tikslaus titano medžiagų paklausos augimą. 2023 m. Kinijos tiksliųjų puslaidininkių titano dalių rinkos dydis viršys 3 milijardus juanių, o metinis augimo tempas sieks daugiau nei 25%. Pasiekta stabili masinė amerikietiško standarto 1/2/5 tikslaus titano medžiagų (įskaitant 0,05 mm itin-ploną titano foliją, didelio-grynumo tikslines medžiagas ir tikslius konstrukcinius komponentus) gamyba, o tolerancijos ir grynumas pasiekė tarptautinį pažangų lygį, todėl puslaidininkių pramonės grandinė gali būti nepriklausoma.
Dėl pažangių procesų ir vidaus pakeitimo dviejų ratų pavara, tikslios titano medžiagos, atitinkančios Amerikos standartus, tapo pagrindine puslaidininkių pramonės modernizavimo priemone. Ateityje jie ir toliau sieks didesnio grynumo (6N), plonesnių specifikacijų (mažiau nei 0,05 mm arba lygūs jai) ir tikslesnio apdirbimo (± 0,002 mm).
Prašyti kainos pasiūlymo
El. paštas:bjcxtitanium@gmail.com
WhatsApp:+8613571718779
